Purion EXE Powerシリーズ注入装置の出荷を発表

マサチューセッツ州ビバリ, 2023年10月18日/PRNewswire/ -- 半導体業界向けのイオン注入ソリューションのトップメーカー、Axcelis Technologies, Inc.（Nasdaq：ACLS）は本日、同社のPurion EXE SiC Power Series™ 200mm高エネルギー注入装置を、日本の大手SiCパワーデバイスチップメーカーに出荷したことを発表しました。このシステムは、自動車用SiCパワーデバイスの大量生産で使用されます。

Purion EXE SiC Power Series™ 200mm high energy implanter

マーケティング＆アプリケーション担当上級副社長のグレッグ・レディンボは、次のように述べています。「パワーデバイス市場は、電気自動車市場の力強い成長も一因となり、IC製造で最も急成長している分野の一つです。チップメーカーが150mmウェハから200mm SiCウェハへと移行していることに伴い、パワーデバイス市場は重要な転換期に差し掛かっています。Purion パワーシリーズは、複数のウェハサイズやさまざまな基板タイプに対応し、さまざまな注入温度で動作するなど、柔軟性を備えた革新的なプラットフォームで、このような市場でのアプリケーションに最適です。私たちは、今後も日本でのPurionプラットフォームの展開を拡大し続け、お客様が目標とする製造能力の拡大をサポートしていきたいと考えています。」

アクセリスについて：
マサチューセッツ州ビバリーに本社を置くアクセリス（Nasdaq：ACLS）は、45年以上にわたり半導体業界に革新的で生産性の高いソリューションを提供してきました。アクセリスは、IC製造プロセスにおいて最も重要で不可欠な工程の一つである、イオン注入システムの設計、製造、および完全なライフサイクルサポートを通じて、最適なプロセスアプリケーションを実現する開発に従事しています。アクセリスの詳細については、https://www.axcelis.com/?lang=jaをご覧ください。

連絡先：
Maureen Hart（記事／メディア）978.787.4266
Doug Lawson（インベスター・リレーションズ）978.787.9552
ペチュレスキー・チャールズ、（日本代表取締役・カントリーマネージャー） 03.5860.2586

写真  - https://mma.prnasia.com/media2/2250282/AXCELIS_TECHNOLOGIES_Purion_EXE_SiC_Power_Series.jpg?p=medium600
ロゴ  - https://mma.prnasia.com/media2/1756239/Axcelis_Logo.jpg?p=medium600

（日本語リリース：クライアント提供）

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