ヤマハファインテック株式会社（本社：静岡県浜松市南区青屋町283　代表取締役：小原辰三）は、

フレキシブル基板、薄型硬質基板向けの導通絶縁検査装置「マイクロプローバー」の新製品として、「MR252」及び「MR252-M」をラインアップに加え、7月1日より受注を開始いたします。

＜価格と受注開始日＞

製品名／本体参考価格＜税抜＞／受注開始日

マイクロプロ－バー　MR252 ／ 2,000万円／ 7月1日（月）

マイクロプロ－バー　MR252-M  ／ 2,300万円 ／ 7月1日（月）

当製品は、従来製品（「MR502」及び「MR612」）の高い性能を維持しつつ検査タクトタイムを高速化し、一方で装置設置面積の約30%縮小と、装置価格の約20%低減を実現しています。　

※注：　「MR252」の場合　

初年度販売数は２製品合わせて50台を予定しています。

＜開発の背景＞

近年、スマートフォンやタブレット端末に代表される携帯情報端末の小型化薄型化・高機能高性能化が急速に進んでいます。内部に使用されるフレキシブル回路基板（薄く柔らかいフィルム状の回路基板素材）や硬質回路基板も高密度化・ファインピッチ化・薄型化が急速に進んでいます。

一方で端末の急速な普及に伴い、より高い性能を追求しつつも激しい価格競争が生じており、部材供給メーカーは一層のコストダウンを求められています。

高密度・ファインピッチの回路基板を電気的に検査する装置（導通絶縁検査装置）は、自動位置決め機構を有する比較的高価で大型のものが主流でした。　しかし近年は上述の背景により、回路基板メーカーは高い検査性能（高密度・ファインピッチ回路に対応する為の高い位置決め精度や、薄型基板への対応）が求められながらも、検査にかける費用を削減する必要があるという状況が発生しています。

　当製品は、上記市場背景に呼応することを目的として、開発されました。

＜製品の概要＞

本装置は、上下1対の独立した可動検査ヘッドを装備し、検査ヘッドの先端に取り付けた微細な検査プローブ治具を、基板パターンの裏表両面に個片毎に一括コンタクトさせる事で、効率的で正確な応用範囲の広い検査を可能にしています。

このような「ステップ･アンド･リピート方式の両面導通絶縁検査」は、非接触方式やフライングプローブ方式などの他の検査装置に比べ、ファインピッチのフレキシブル基板に効率よく且つ信頼性の高い検査が可能なため、2004年に当社が発表した「M402」以降、多くのユーザーにご利用いただいております。

当社現行製品の「MR502」及び「MR612」は、基板の裁断を最小限に抑え、工程コスト削減することが可能な、大判サイズ用導通絶縁検査装置ですが、今回新発表となる「MR252」及び「MR252-M」は、対象基板の最大サイズを制限することにより、更なる装置サイズの小型化と高速化、そしてコストダウンを実現しています。

　また、「MR252-M」では、導通絶縁検査の判定結果をフレキシブル基板に印字（NGマーキング）する機構を別ステージに設け、導通絶縁検査とNGマーキングの並行処理を可能にしています。これにより、更なる検査速度の改善が可能になります。投入・排出の自動搬送装置もオプションにて対応しています。

＜主な特長＞

1.　低価格（従来比約20％低減）

ハードウェア構造の見直しや装置寸法の縮小化を経て、当社従来商品と比較し約20% 低い価格を実現しました。

※注：　「MR252」の場合

2.　月産50～100万回コンタクトが可能な高速検査

ハードウェア構造やソフトウェア、検査回路の改良により、１ヶ月当たり50～100万回コンタクトにて量産が可能です。検査治具1式あたりの時間生産性が大幅に向上するので、検査コストの削減が可能です。複数製品を一括でコンタクトする検査治具を使用すれば、量産性を更に上げることができます。

3.　±5μmの高精度な位置決め

可動アーム上の各検査ヘッドと一体実装されたCCDカメラで画像を認識し、検査治具の位置をX軸、Y軸、θ軸（傾き）で補正します。独自のハードウェア機構とアルゴリズムにより基板パターンと検査治具の相対位置を±5μmの精度で位置決めします。微細なプローブを搭載した検査治具と組み合わせることで、超高密度、高精細な回路も安定した検査が可能です。

4.　コンパクトな装置サイズ（従来比30％縮小）

検査対象基板の外形サイズを既存モデルと比べて制限（最大250mm x 350mm）することにより、装置全体の外形サイズを当社従来商品より約30%小型化させました。　※注：　「MR252」の場合

制限のある工場内エリアにおいて、面積生産性をより高めることが可能です。

5.　上下独立駆動ヘッド

上下に配置した可動検査ヘッド（＊）にそれぞれ検査治具を実装し、対象基板の上下両面に対しコンタクトさせることで接触導通絶縁検査を実現します。　(*)　可動軸：X軸、Y軸、R軸、θ軸、Z軸

6.　ワンタッチ検査治具交換を実現した両面独立ロータリーヘッド

高密度・高精度な検査治具をワンタッチで簡単に検査ヘッドに搭載可能です。また、対向面付けのワークシートで順方向検査後に自動的に逆方向を検査できるよう、検査治具を反転させるロータリーヘッド機構も実装しています。これにより、検査治具の小片化や段取り替え回数の削減を実現しています。

7.　治具レス独自ワーク把持機構

基板の４隅を把持しXY方向にテンションをかけることにより、空中にワークを支持固定します。薄く柔らかなフレキシブル基板も特別な固定治具等を使用せずに安定した検査が可能です。更に把持部は可動式でワーク基板サイズが変わっても把持部の位置を調整するだけで対応できますので、基板固定の為の治具が不要です。

8.　4端子測定が可能な検査回路ユニット

通常の2端子測定検査に加え、4端子測定法による高精度抵抗測定が可能です。より高い精度で対象基板の不良を検出することが可能です。