Beneqは大量生産のための業界向けALDで大きくリード

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【エスポー（フィンランド）2016年7月20日PR Newswire＝共同通信JBN】

Beneq R11（TM）とBeneq T2Sの新製品がALD2016で発表される

ALD装置および薄膜フィルムコーティングサービスの有力サプライヤーであるBeneqは20日、高度なALDアプリケーションの高容量で低プロセスコストを必要とする業界顧客向けに2つの新しい薄膜フィルム装置ソリューションを発表した。新製品はALD業界におけるコーティングスピードの基準を大幅に変革する。

▽Beneq R11（TM）－超高速・高精度空間的ALDコーティング

Beneq R11は、Beneqが業界使用のために提供する広範な大規模処理能力の空間ALDソリューションの1つに加わった最新のソリューションである。Beneq R11は、業界アプリケーションのウエハーの高性能ALDにとって最適なソリューションを提供する。スピード、コスト、低いプロセス温度、可能な限り高いフィルム品質が最重要であるならば最適の装置となる。

Beneq R11を使用すれば、大量生産でPEALD（原子層レベル成膜）が初めて使用できる。このシステムはMEMS、LED、OLED、太陽光発電、大電力半導体、センサーなど向けのバリアー、インシュレーション、耐食アプリケーションに役立つ。

▽Beneq T2S（TM）－自動化バッチ・ウエハー装置

Beneq T2SはBeneqのウエハーベース装置ポートフォリオに加わる最新装置である。Beneq T2Sは高容量バッチ・プロセッシングと標準的なカセットツーカセット・オートメーションのユニークな組み合わせを提供する。Beneq T2SはSEMI S2安全要件と少ない粒子数などの半導体要件を満たすように専用設計されている。

Beneq T2SはMEMS、LED、OLED、インクジェット・プリンターヘッドなど、さまざまなウエハーベース・アプリケーションの大量生産に最適である。Beneq T2Sの熱バッチALDプロセスは、誘電体、伝導体、バリアー、表面安定化処理目的のために使用する酸化および窒化処理に最適である。

▽アイルランドで開催されるALD2016で正式発表される新製品

Beneq R11とBeneq T2Sの新製品は、アイルランドのダブリンで来週開催される16th International Conference on Atomic Layer Depositionで正式に発表される。

Beneq（R）はALD装置および薄膜フィルムコーティングサービスの有力サプライヤーであり、ALDベースの薄膜フィルム・エレクトロルミネセント・ディスプレーの世界一流メーカーである。

Beneq薄膜フィルム・ソリューションは、エレクトロニクス、光学、感光材料の性能および耐久性を向上させるとともに、湿度、腐食、変色を防ぐ。

Beneqの堅ろうで透明、かつカスタム化されたLuminq（R）ディスプレーは極限状態で広範なアプリケーションで利用されている。完全透明なLumineq TASEL（R）ディスプレーは、優れた信頼性と独自の透明な視認性体験を一体化している。

http://www.beneq.com

http://www.beneq.com/beneq-r11.html

http://www.beneq.com/beneq-t2s.html

▽問い合わせ先

Matias Impivaara

Head of Marketing and Communications

+358-9-7599-530

ソース：Beneq

Beneq Strengthens Its Lead in High-volume Industrial ALD

PR65164

ESPOO, Finland, July 20, 2016 /PRNewswire=KYODO JBN/ --

     New Beneq R11(TM) and Beneq T2S(TM) products introduced at ALD2016

    Beneq, the leading supplier of ALD equipment and thin film coating

services, today announced two new thin film equipment solutions for industrial

customers that require high capacity and low process cost in advanced ALD

applications. The new products are set to revolutionize the standards of

coating speed in the ALD industry.

    Beneq R11(TM) - Ultra-fast high precision spatial ALD coating

    Beneq R11 is the latest addition to Beneq's extensive portfolio of

large-throughput spatial ALD solutions for industrial use. It provides an

optimal solution for high performance ALD on wafers in industrial applications.

It is the ideal choice of equipment when speed, cost, low process temperature

and the highest possible film quality are the driving factors.

    With Beneq R11, it is for the first time possible to use PEALD (Plasma

Enhanced ALD) processes in high volume manufacturing. The system lends itself

to barrier, insulation and anti-corrosion applications for MEMS, LED, OLED,

photovoltaics, high power semiconductors, sensors and others.

    Beneq T2S(TM) - Automated batch wafer equipment

    Beneq T2S is the newest member of Beneq's wafer-based production equipment

portfolio. It offers a unique combination of high capacity batch processing and

standard cassette-to-cassette automation. The Beneq T2S is specifically

engineered to match the semiconductor requirements, including the SEMI S2

safety requirements and low particle counts.

    Beneq T2S is perfectly suited for high volume manufacturing in various

wafer-based applications, including MEMS, LED, OLED, ink-jet print heads and

more. The thermal batch ALD process of Beneq T2S is ideal for oxide and nitride

processes used for dielectric, conductor, barrier and passivation purposes.

    New products officially unveiled in ALD2016 in Ireland

    Both new products, Beneq R11 and Beneq T2S, will be introduced officially

next week at ALD2016 - the 16th International Conference on Atomic Layer

Deposition in Dublin, Ireland.

    Beneq(R) is the leading supplier of ALD equipment and thin film coating

services, and world's premier manufacturer of ALD-based thin film

electroluminescent displays.

    Beneq thin film solutions improve the performance and durability of

electronics, optics and sensitive materials, and protect from humidity,

corrosion and tarnishing.

    Beneq's rugged, transparent and customized Lumineq(R) displays are used in

a wide array of applications in extreme conditions. Fully transparent Lumineq

TASEL(R) displays combine superior reliability with a unique see-through

viewing experience.

http://www.beneq.com     

http://www.beneq.com/beneq-r11.html     

http://www.beneq.com/beneq-t2s.html

     Further information:

    Matias Impivaara, Head of Marketing and Communications, +358-9-7599-530.

SOURCE: Beneq